补偿亮度之先进微影制程系统与方法

摘要

本发明为一微影系统。此微影系统具有一光源用以提供能量；一影像系统用以导引该能量至一基材以于其上形成一预先设定之影像，而该影像系统用以定义一光学轴；以及一开口装置用以与该影像系统共用作用，该开口装置具有沿着不平行该光学轴之一放射状轴线所定义之复数个穿透区，而每一个穿透区可用以穿透可调整强度之能量。