发明名称 复合基板及其制造方法
摘要 一种复合基板(1),具有一个基板本体(2)及一个固定在基板本体(2)上的有效层(31),在有效层(31)及基板本体(2)之间有一个平坦化层(4)。一种制造复合基板(1)的方法,这种方法是先在一个准备好的有效基板(3)上设置一个平坦化层(4)。接着将有效基板(3)固定在复合基板(1)的基板本体(2)上。最后将有效基板(3)拆除,但是将有效基板(3)的一个有效层(31)留在复合基基板(1)的基板本体(2)上。
申请公布号 TW200802544 申请公布日期 2008.01.01
申请号 TW096113268 申请日期 2007.04.16
申请人 欧斯朗奥托半导体股份有限公司 发明人 亚德里恩艾伦梅斯库;乔治布鲁德罗;克里斯托夫艾克勒;伏尔克哈勒;威史楚斯
分类号 H01L21/20(2006.01);H01L33/00(2006.01);C30B33/06(2006.01) 主分类号 H01L21/20(2006.01)
代理机构 代理人 何金涂
主权项
地址 德国