具有沟槽电荷补偿区的半导体装置及方法

摘要

在一个实施例中，半导体装置成形为具有电荷补偿沟槽，该电荷补偿沟槽邻近该装置的通道区。电荷补偿沟槽包括至少两相反导电类型的半导体层。通道连接区将通道区电连接到至少两相反导电类型的半导体层的其中之一。