碳奈米管集合体之制造方法、碳奈米管集合体、触媒粒子分散膜、电子射出元件、以及场发射显示器

摘要

一种碳奈米管集合体之制造方法，系对基板上之碳奈米管之生长密度加以控制，包含下述步骤：准备触媒粒子分散膜形成基板之步骤，该触媒粒子分散膜形成基板系具备有具既定粒径之金属触媒粒子分散于障碍粒子中的触媒粒子分散膜；热CVD步骤，系以该金属触媒粒子作为基点，藉由有机化合物蒸气之热分解来使碳奈米管生长。