奈米碳管膜之生长装置及方法

摘要

本发明涉及一种奈米碳管膜之生长装置，其包括一反应室及一基底，该基底呈弯曲状设置于反应室内。本发明同时提供一种利用上述装置生长奈米碳管膜之方法。本发明所提供之奈米碳管膜之生长技术，与先前技术相比，采用弯曲状基底作为奈米碳管膜生长之载体，使得一定容量空间之反应室内可容纳更大面积之基底，从而实现奈米碳管膜于较小反应室内之大面积生长，如此可降低大面积制备奈米碳管膜所需设备之成本。