具精细高度之微制造弹簧接点结构及其制造方法

摘要

本发明揭示一种已增强之微制造弹簧接点结构及相关方法，其包含对于基材表面上之弹簧结构的改进，及／或对于基材上或内之结构的改进。已改进之弹簧结构及制程包含具有选择性形成及蚀刻、涂布及／或电镀区之具体实施例，其较佳系透过平面化及／或退火进一步处理。已改进基材结构及制程通常包含建立一在基材之至少一表面上的解耦合结构，及弹性核心部件（如应力金属弹簧）间之机电支点连接，其通过解耦合结构中之已界定开口朝该支撑基材中的导电路径。