| 摘要 |
本发明系提供一种当使腔体等降温时，能获得高效率的冷却效果而迅速降温的加热装置。基板处理装置（1），系在以处理腔体（11）及盖部（12）包围之腔体内部空间（23）具有加热单元（100）。加热单元（100），系在外壳（111）与内壳（112）之间夹持着面状发热体（113）而接合之物件，藉由通电到面状发热体（113）而发热，使腔体内部空间（23）加热到既定温度。在加热单元（100）之外壳（111）与面状发热体（113）之边界部处，沿着加热单元（100）周面具有成螺旋状配置之冷却媒体流路（114）。在降温时，藉由流通冷却媒体到冷却媒体流路（114），腔体内部空间（23）及基板处理装置（1）系被强制冷却而迅速降温。 |
