制作悬浮结构之方法

摘要

一种制作悬浮结构之方法，包含提供基底，于基底上形成第一光阻图并加热使之硬化以作为牺牲层，于基底与牺牲层上方形成曝露出部分牺牲层与基底之第二光阻图案，于基底 、第二光阻图案与牺牲层上形成结构层，进行掀举制程，移除第二光阻图案与位于第二光阻图案上之结构层，以及用乾式蚀刻制程移除牺牲层使结构层形成悬浮结构。