制作悬浮结构与腔体之方法

摘要

一种制作悬浮结构与腔体之方法包含提供一基底，基底上包含有一孔洞与一填满孔洞之牺牲层，于基底与牺牲层上形成一露出部分牺牲层与基底之图案化光阻层，于基底、图案化光阻层与牺牲层上形成一结构层，进行掀举制程移除图案化光阻层与其上之结构层，以及利用一乾式蚀刻制程移除牺牲层使结构层与孔洞形成悬浮结构与腔体。