机台淋气头的清洗方法

摘要

一种机台淋气头的清洗方法，包括下列步骤：将一淋气头升高至一适当的位置；提供一装有清洗液的洗槽，该洗槽中设有复数个震荡源；将该洗槽位置于该淋气头的下方；将该淋气头缓缓下降至洗槽的上方，并确定该淋气头不会撞击洗槽的边缘；若该淋气头确定不会撞击该洗槽的边缘，则将该淋气头下降至完全被该清洗液所覆盖；使该震荡源震荡该清洗液，并藉此清洗该淋气头；以及将气体注入该淋气头，以便将残留在淋气头中的清洗液吹出。