具有奈米碳管互连结构之半导体装置及其制造方法

摘要

一种具有奈米碳管互连结构的积体电路，其包含多个输入╱输出焊垫置于该积体电路的上表面，该等焊垫经配置成具有至少两列的阵列。该等奈米碳管是置放于该等输入╱输出焊垫上以提供该积体电路晶片与另一电路（例如像是一印刷电路板）的电性与热性互连。该等奈米碳管可镀上一或多个金属覆盖层。