光阻用剥离液及使用此剥离液之基板的处理方法

摘要

【课题】本发明的课题系提供一种光阻用剥离液，其对于形成有含银金属层之基板，更且对于形成有含有其他金属之金属层之基板，不会使腐蚀发生，且能有效地除去光阻膜。【解决手段】本发明系提供一种光阻用剥离液，其含有（A）N，N-二乙基羟胺0.5质量％以上20质量％以下、（B）烷醇胺10质量％以上90质量％以下、以及（C）水溶性有机溶剂10质量％以上90质量％以下。