形成微机电结构之方法及用于制作微机电结构之模具

摘要

一种形成微机电结构之方法，包括：提供一基板；形成一第一图案化牺牲层于部份之该基板上，该第一图案化牺牲层包括一主体部与一突出部；形成一第二图案化牺牲层于该第一图案化牺牲层上，覆盖该第一图案化牺牲层之突出部与部份之主体部，其中该第二图案化牺牲层并未覆盖该第一图案化牺牲层之侧壁；形成一元件层于该基底上，以覆盖该基底、该第二图案化牺牲层与该第一图案化牺牲层；以及移除该第一与第二图案化牺牲层，于该基板上留下一微结构。