| 摘要 |
真空阀包括一个阀套（1），该阀套具有一个进口孔（2）及一个出口孔（3），该两孔穿过阀套（1）对置之壁（4、5），及一个包围进口孔（2）之阀座（6），及一个设置于阀套（1）之内腔（7）之闭锁单元（8），该闭锁单元（8）包括一个阀门板（9），该阀门板介于一个释放进口孔（2）之打开位置之间，一个盖住进口孔（2），但是被阀座（6）抬起之中间位置及一个盖住进口孔（2）及一个顶住阀座（6）之关闭位置之间系可调节，还包括至少一个设置于闭锁单元（8）之内腔（16）之调节活塞（15），该调节活塞为了于其中间位置及关闭位置之间调节阀门板（9），沿其纵向中间轴（20）方向于一个被动位置，阀门板（9）设置于其中间位置及一个主动位置，阀门板（9）设置于其关闭位置之间系可移动的。闭锁单元（8）之至少一个工作室（23）受到一个薄膜密封装置（25）限制。为了将至少一个调节活塞（15）移动至其主动位置可提供所述工作室（23）压缩气体。调节活塞（15）上设置至少一个从闭锁单元（8）之内腔（16）中通过一个孔引出之冲杆。当调节活塞（15）自其被动位置移动至其主动位置时，该冲杆直接或间接地支撑于出口孔（3）附近区域之阀套（1）上。 |
