| 摘要 |
本发明涉及一照明系统以及运用该照明系统的一光微影装置。该照明系统包含可产生一照明分布的装置，该照明分布（6）具有一点（32）及一外缘（33），该照明分布（6）包含定义为绕着该点（32）的一第一不透明部分（34）、定义为邻接该外缘（33）的一第二不透明部分（35）、及配至于该第一及第二不透明部分（34，35）之间的一辐射传送部份（36）。该照明分系统进一步包含一极化装置（23）。该极化装置（23）产生一线性极化电磁辐射，其具有一局部改变极化方向（311a，b，c，d），而产生至少一第一及一第二极化方向（311a，b），该第一极化方向（311a）与该第二极化方向（311b）不同，而在该照明分布的辐射传输部分至少两不同点处的该极化方向系与连接此点及该照明分布的该点（32）的一线平行。 |
