液处理装置

摘要

本发明之液处理装置的特征系具备：基板保持部，其系将基板保持于水平，且可与基板一起旋转；旋转杯，其系围绕被保持于基板保持部的基板，且可与基板一起旋转：旋转机构，其系使旋转杯及基板保持部一体旋转；液供给机构，其系对基板供给处理液；及排气．排液部，其系进行旋转杯的排气及排液；又，排气．排液部系具有排液杯，其系主要取入从基板甩掉的处理液而排液呈环状，及排气杯，其系设成在排液杯的外侧围绕排液杯，主要从旋转杯及其周围取入气体成份而排气；且，来自排液杯的排液及来自排气杯的排气系分别独立进行。