基板处理装置及基板处理方法

摘要

本发明之目的在于提供一种基板处理装置及基板处理方法。该基板处理装置在纯水供给部之路径途中设置有缓冲槽，在缓冲槽内设置有微细气泡发生器。并且，在进行基板处理时，预先在缓冲槽内生成大量微细气泡，自缓冲槽向处理槽供给微细气泡。因此，使用小型微细气泡发生器，可一边防止基板处理装置之大型化，一边将大量微细气泡供给于基板周围。