发明名称 使用带隙设计之SONOS元件的次闸AND架构的结构及其方法STRUCTURE AND METHOD OF SUB-GATE AND ARCHITECTURES EMPLOYING BANDGAP ENGINEERED SONOS DEVICES
摘要 一种带隙设计的SONOS元件结构,其用于具有各种AND架构的设计来执行源极侧注入程式化方法。BE-SONOS元件结构包含分隔氧化物,其安置在覆盖氧化物-氮化物-氧化物-氮化物-氧化物堆叠的控制闸极与覆盖闸极氧化物的次闸之间。在第一实施例中,BE-SONOS次闸AND阵列架构被构造成具有次闸线和扩散位元线的多列SONONOS元件。在第二实施例中,BE-SONOS次闸反转位元线AND架构被构造成具有次闸反转位元线但不具有扩散位元线的多列SONONOS元件。
申请公布号 TW200802897 申请公布日期 2008.01.01
申请号 TW095123089 申请日期 2006.06.27
申请人 旺宏电子股份有限公司 发明人 吕函庭;连浩明
分类号 H01L29/792(2006.01) 主分类号 H01L29/792(2006.01)
代理机构 代理人 詹铭文;萧锡清
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行路16号