发明名称 |
用于CVD钻石薄膜成核方法之经化学结合之类钻石CHEMICALLY ATTACHED DIAMONDOIDS FOR CVD DIAMOND FILM NUCLEATION |
摘要 |
本发明提供一种对于钻石薄膜之生长予以成核化的新颖方法。该方法包含:提供一基质,其上有一以化学方式结合之类钻石来充当优良之成核点;及接着促进该钻石薄膜之生长。 |
申请公布号 |
TW200801226 |
申请公布日期 |
2008.01.01 |
申请号 |
TW096110178 |
申请日期 |
2007.03.23 |
申请人 |
雪维隆有限公司 |
发明人 |
杰麦 E 戴尔;罗伯 M 卡森;瓦席 波哈里;刘升高 |
分类号 |
C23C16/27(2006.01) |
主分类号 |
C23C16/27(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
主权项 |
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地址 |
美国 |