基板支撑构造,使用其之热处理装置,基板支撑构造所使用之第一片状物,基板支撑构造之制造方法,热处理装置及基板吸附方法

摘要

本发明系一种热处理装置，于热处理板之上表面设置有支撑片。于支撑片之上表面，形成有抵接支撑基板之凸起部、及与基板之周缘部抵接之边缘部。该支撑片系藉由蚀刻处理而形成，故凸起部之周围成为凹部，而不是如进行雷射加工般凸起部之周围形成开口。若藉由包括该等热处理板与支撑片之基板支撑构造，则可适当地支撑基板。