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发明名称 Wafer crashing prevention apparatus and wafer loading control method using the same
摘要
申请公布号 KR100790743(B1) 申请公布日期 2007.12.31
申请号 KR20030089475 申请日期 2003.12.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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