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发明名称 EXZENTRISCH ROTIERENDES BEARBEITUNGSGERÄT FÜR FLACHE MEDIEN
摘要
申请公布号 DE69935795(T2) 申请公布日期 2007.12.27
申请号 DE1999635795T 申请日期 1999.06.21
申请人 SEMITOOL INC. 发明人 BEXTEN, DANIEL P.
分类号 B08B3/00;B08B3/04;B01D33/00;B08B3/02;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306 主分类号 B08B3/00
代理机构 代理人
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