| 发明名称 |
Vorrichtung für geladene Teilchen mit Reinigungseinheit und Verfahren zu deren Betrieb |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60313282(T2) |
申请公布日期 |
2007.12.27 |
| 申请号 |
DE20036013282T |
申请日期 |
2003.03.03 |
| 申请人 |
ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERPRUEFTECHNIK MBH |
发明人 |
JASINSKI, THOMAS |
| 分类号 |
H01J37/06;H01J3/02;H01J37/065;H01J37/30 |
主分类号 |
H01J37/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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