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发明名称 Beleuchtungsvorrichtung
摘要
申请公布号 DE60219404(T2) 申请公布日期 2007.12.27
申请号 DE20026019404T 申请日期 2002.09.12
申请人 CANON K.K. 发明人 MORI, KEN-ICHIRO
分类号 G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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