发明名称 Method and apparatus for preventing ALD reactants from damaging vacuum pumps
摘要
申请公布号 GB0722391(D0) 申请公布日期 2007.12.27
申请号 GB20070022391 申请日期 2007.11.15
申请人 MKS INSTRUMENTS INC 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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