| 发明名称 |
Organische Antireflex-Beschichtungspolymere, solche Polymere umfassende Antireflex-Beschichtungszusammensetzungen und Verfahren zur Herstellung derselben |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10133716(B4) |
申请公布日期 |
2007.12.27 |
| 申请号 |
DE20011033716 |
申请日期 |
2001.06.28 |
| 申请人 |
HYNIX SEMICONDUCTOR INC. |
发明人 |
JUNG, JAE-CHANG;HONG, SUNG-EUN;JUNG, MIN-HO;LEE, GEUN-SU;BAIK, KI-HO |
| 分类号 |
C08F220/36;G03F7/11;C07C249/02;C07C251/24;C08F220/28;C08F220/30;C08F220/32;C08F220/40;C09D5/32;C09D133/00;G03F7/004;G03F7/09;H01L21/027 |
主分类号 |
C08F220/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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