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发明名称 Verfahren zum Abschätzen der kristallinen Textur gestapelter Metallleitungen in Mikrostrukturbauelementen
摘要
申请公布号 DE102006009247(B4) 申请公布日期 2007.12.27
申请号 DE200610009247 申请日期 2006.02.28
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES INC. 发明人 ZIENERT, INKA;MEYER, MORITZ-ANDREAS;PRINZ, HARTMUT
分类号 G01N23/20;G01N23/083 主分类号 G01N23/20
代理机构 代理人
主权项
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