发明名称 Verfahren zum Herstellen einer Halbleitervorrichtung
摘要
申请公布号 DE10346581(B4) 申请公布日期 2007.12.27
申请号 DE2003146581 申请日期 2003.10.07
申请人 RENESAS TECHNOLOGY CORP.;SHARP K.K.;SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO. LTD.;TAIYO YUDEN CO. LTD. 发明人 NEMOTO, YOSHIHIKO;FUJII, TOMONORI;SUNOHARA, MASAHIRO;SATO, TOMOTOSHI
分类号 H01L21/58;H01L23/52;H01L21/288;H01L21/304;H01L21/3205;H01L21/60;H01L21/68;H01L21/768;H01L23/48 主分类号 H01L21/58
代理机构 代理人
主权项
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