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发明名称 Elektronenstrahlvorrrichtung mit Mehrfachstrahl
摘要
申请公布号 DE60127677(T2) 申请公布日期 2007.12.27
申请号 DE20016027677T 申请日期 2001.10.05
申请人 ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERPRUEFTECHNIK MBH 发明人 WINKLER, DIETER;ADAMEC, PAVEL;GOEHL, ACHIM;BANZHOF, HELMUT
分类号 H01J37/304;H01J37/21;H01J37/28;H01J37/317 主分类号 H01J37/304
代理机构 代理人
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