Projektionsbelichtungsanlage,申请号DE2002511190-传众专利搜索

发明名称	Projektionsbelichtungsanlage
摘要
申请公布号	DE50211190(D1)	申请公布日期	2007.12.27
申请号	DE2002511190	申请日期	2002.07.05
申请人	CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG	发明人	KNEER, BERNHARD;RICHTER, GERALD DR.
分类号	G02B13/24;G03F7/20;G02B15/14;G02B27/18;H01L21/027	主分类号	G02B13/24
代理机构		代理人
主权项
地址