能防止图案崩坏的半导体装置

摘要

本发明涉及一种能防止图案崩坏的半导体装置，能防止在图案更脆弱的单元边缘区域内发生图案崩坏的现象。在本发明半导体装置中，晶片的边缘区域中的图案密度低于中心区域中的图案密度，其包括：以一预定距离配置在该晶片的该中心区域中的多个条型图案；在该边缘区域内形成的多个虚设图案；以及用于将该等条型图案中至少两个条型图案互相耦合的多个连接图案，其中该等多个虚设图案的该等连接图案以锯齿形式配置。

主权项

1.一种半导体装置，在所述半导体装置的边缘区域中的图案密度低于中心区域中的图案密度，其包括：多个条型垂直图案，其以一第一预定距离配置在该半导体装置的该中心区域中；以及多个虚设图案，其形成在该边缘区域内，包括多个条型虚设图案和以锯齿图案配置的多个连接虚设图案，其中每一连接虚设图案连接至少两个条型虚设图案。