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发明名称 GAS SHOWER PLATE FOR PLASMA PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 EP1869691(A1) 申请公布日期 2007.12.26
申请号 EP20060731468 申请日期 2006.04.04
申请人 PANASONIC CORPORATION;KROSAKI HARIMA CORPORATION 发明人 ARITA, KIYOSHI;NAKAGAWA, AKIRA;KUGA, KOJI;MATANO, TAIJI;SATO, NOBUHIRO
分类号 H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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