有机EL装置的制造方法及有机EL装置的制造装置

摘要

提供一种有机EL装置的制造方法及有机EL装置的制造装置。该有机EL装置的制造方法，在一对电极间具备至少具有发光层的功能层，并包括相对基板自液滴喷头(20)喷出使上述功能层的形成材料溶解在溶剂中或分散在分散剂中而形成的液体材料、以形成上述功能层的工序。形成该功能层的工序，将液体材料收容在容器(81)内，并在从容器(81)向上述液滴喷头(20)供给上述液体材料之前，除去上述液体材料中所含有的簇状物，再从上述液滴喷头(20)喷出除去了上述簇状物的液体材料。

主权项

1.一种有机EL装置的制造方法，是在一对电极间备有至少具有发光层的功能层的有机EL装置的制造方法，其特征在于：包括相对基板自液滴喷头喷出使上述功能层的形成材料溶解在溶剂中或分散在分散剂中而形成的液体材料、以形成上述功能层的工序，形成上述功能层的上述工序为：将上述液体材料收容在容器内，并在从上述容器向上述液滴喷头供给上述液体材料之前，除去上述液体材料中所含有的簇状物，再从上述液滴喷头喷出除去了上述簇状物的液体材料，上述簇状物是形成在上述基板上的功能层的形成材料在喷出前的上述液体材料中凝集而生成的固态物。