发明名称 |
显示器件及其制造方法 |
摘要 |
为了达到提高显示器件运行功能的稳定性和扩大电路设计中的设计裕度,在包括具有半导体元件和配备有连接到衬底上半导体元件的象素电极的多个象素的象素部分的显示器件中,半导体元件包括光敏有机树脂膜作为层间绝缘膜,提供在光敏有机树脂膜中的第一开口部分的内壁表面被第二绝缘氮化物膜覆盖,提供在无机绝缘膜中的第二开口部分被提供在第一开口部分的内侧上,半导体和布线通过第一开口部分和第二开口部分被连接,且象素电极被提供在有源层下侧的层上。 |
申请公布号 |
CN100357992C |
申请公布日期 |
2007.12.26 |
申请号 |
CN03110452.5 |
申请日期 |
2003.04.15 |
申请人 |
株式会社半导体能源研究所 |
发明人 |
早川昌彦;村上智史;山崎舜平;秋元健吾 |
分类号 |
G09F9/33(2006.01);G02F1/133(2006.01);H01L27/10(2006.01) |
主分类号 |
G09F9/33(2006.01) |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
吴立明;梁永 |
主权项 |
1.一种显示器件,包含象素部分,该象素部分具有多个象素,其中每个象素提供有象素电极,其中象素电极连接到衬底上的半导体元件,其中,半导体元件包含:有源层,与有源层接触的栅绝缘膜、通过栅绝缘膜与有源层相对的栅电极,提供在有源层上的第一绝缘氮化物膜,提供在第一绝缘氮化物膜上的有机树脂膜,提供在有机树脂膜上的第二绝缘氮化物膜,以及提供在第二绝缘氮化物膜上的布线;其中,形成在有机树脂膜中的第一开口部分的内壁表面,被第二绝缘氮化物膜覆盖;其中在包括栅绝缘膜、第一绝缘氮化物膜、以及第一开口部分内的第二绝缘氮化物膜的叠层体中形成第二开口部分;其中,有源层和布线通过第一开口部分和第二开口部分被连接;其中,象素电极通过布线被电连接到半导体元件;以及其中,衬底与象素电极之间的距离短于衬底与有源层之间的距离。 |
地址 |
日本神奈川县厚木市 |