| 发明名称 | 用于制造平板显示器的设备 | ||
| 摘要 | 在此公开了一种平板显示器(FPD)制造设备，用于在室中建立真空气氛之后对定位在所述室中的基板执行所需的处理。所述真空室被分成室体以及上盖，以确保所述上盖的容易的开/闭操作。 | ||
| 申请公布号 | CN101093792A | 申请公布日期 | 2007.12.26 |
| 申请号 | CN200710138190.3 | 申请日期 | 2005.09.30 |
| 申请人 | 爱德牌工程有限公司 | 发明人 | 李荣钟;崔浚泳;曺生贤;安贤焕;孙石民;安成一 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L51/56(2006.01);C23C14/22(2006.01);G02F1/133(2006.01);G09F9/00(2006.01);H01J9/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 蔡洪贵 |
| 主权项 | 1.一种用于FPD制造设备中的上盖开/闭装置，所述FPD制造设备对加载到真空室中的基板执行所需的处理，所述上盖开/闭装置包括：盖加载单元，以支持并旋转从所述真空室分开的上盖；及轨道单元，以提供用于将所述盖加载单元移动到接近所述真空室的位置的移动路径；其中可移动块被提供在该盖加载单元要与所述轨道单元耦合的部分，以允许所述盖加载单元在被置于在所述轨道单元上的状态沿所述轨道单元移动。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||