| 发明名称 | 用于外延生长的原位应力光学监控方法及系统 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种用于外延生长的原位应力光学监控方法，将激光束经分束后形成至少2束平行的激光束，入射到外延生长片的表面，反射的激光束经光学元件出射，在图像收集设备上成像，经过图像处理后获得表面应力信息，其特征在于：所述激光束的波长小于待测外延生长片材料的带宽对应的波长。本发明采用的激光器波长小于外延材料带宽对应的波长，可以消除一种系统误差，使应力测量的精度大幅度提高。 | ||
| 申请公布号 | CN101092738A | 申请公布日期 | 2007.12.26 |
| 申请号 | CN200710023556.2 | 申请日期 | 2007.06.08 |
| 申请人 | 苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 发明人 | 王建峰;徐科;朱建军;杨辉 |
| 分类号 | C30B25/16(2006.01) | 主分类号 | C30B25/16(2006.01) |
| 代理机构 | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 陶海锋 |
| 主权项 | 1.一种用于外延生长的原位应力光学监控方法，将激光束经分束后形成至少2束平行的激光束，入射到外延生长片的表面，反射的激光束经光学元件出射，在图像收集设备上成像，经过图像处理后获得表面应力信息，其特征在于：所述激光束的波长小于待测外延生长片材料的带宽对应的波长。 | ||
| 地址 | 215123江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路150号南大苏州研究生院B－513 | ||