一种抛光用超细氧化铈的制备方法

摘要

本发明涉及一种超细氧化铈的制备方法，属于稀土化合物的制备技术领域。其特点是：制备含有铈离子的盐溶液，然后在该溶液中加入表面活性剂，让上述溶液先与一种碱性物质接触，控制反应悬浮液的pH值，生成沉淀物，然后该悬浮液用草酸进行转化，控制反应终点的pH值，最后过滤、洗涤、干燥该沉淀物，在600～1000℃下灼烧，得到粒径在10nm～3μm之间，比表面积小于50m²/g的超细氧化铈，该超细氧化铈主要用做抛光材料，特别是用于光掩模的抛光。本发明得到小颗粒的沉淀物，用草酸转型，可以控制超细氧化铈产品的晶型，使其适合于抛光。同时本发明制备抛光用超细氧化铈，粒度分布均匀、形状一致性好，适合工业化生产，成本较低。

主权项

1、一种抛光用超细氧化铈的制备方法，其特征在于：(1).用一种酸溶解铈的碳酸盐或氧化物，或用水溶解铈的硝酸盐、氯化物或硫酸盐制成铈的盐溶液A；(2).该铈盐溶液A中，铈离子的浓度为0.1～2.0mol/l，氢离子浓度为0.001～1mol/l；(3).向该铈盐溶液中加入分散剂G，分散剂G是至少一种有机表面活性物质，形成溶液B；(4).取一种碱性物质H配成溶液C；(5).将溶液B与溶液C混合进行化学反应，反应时间为10～180分钟，控制反应终点的pH值为5～10，化学反应后生成的沉淀物再经搅拌10～100分钟，形成悬浮液D；(6).取草酸、草酸铵或碱金属草酸盐配成含草酸的溶液E；(7).将悬浮液D和草酸溶液E充分接触进行化学反应，反应时间为20～200分钟，控制反应终点的pH值为1～5，化学反应后生成的沉淀物再经搅拌5～100分钟，得到沉淀物；(8).该沉淀物经过滤、洗涤、干燥，得到氧化铈的前驱体F；(9).该前驱体F在600～1000℃下灼烧2～10小时，即得到抛光用超细氧化铈产品。