磁控溅射卷绕镀膜机

摘要

本实用新型提供了一种磁控溅射卷绕镀膜机，至少包括有卷材放卷机构和/或收卷机构的真空室，至少一个镀膜真空室，连接收卷、放卷真空室及镀膜真空室的真空连接箱，其特征是有至少一个镀膜真空室中有真空镀膜箱体，位于真空镀膜箱体内的冷却辊，以冷却辊为中心周围布置有至少3组阴极和高低压真空泵及管道组成的真空抽气系统，磁控溅射的阴极的靶及靶芯设置在每个真空镀膜箱体中，阴极通过阴极法兰连接座以法兰连接形式安装在真空镀膜箱体壁上，气体、电源、冷却水连接管线置于真空镀膜箱体壁外，每组阴极之间有挡气隔离板将真空镀膜箱体壳体与冷却辊之间的空隙隔离形成抽气通道。镀膜机能在塑料薄膜表面多层镀膜，且获得的镀膜表面微观结构非常致密，表面平滑。

主权项

1、磁控溅射卷绕镀膜机，至少包括有卷材放卷机构和/或收卷机构的真空室，至少一个镀膜真空室，连接收卷、放卷真空室及镀膜真空室的真空连接箱，其特征在于有至少一个镀膜真空室中有真空镀膜箱体，位于真空镀膜箱体内的冷却辊，以冷却辊为中心周围布置有至少3组阴极和高低压真空泵及管道组成的真空抽气系统，磁控溅射的阴极的靶及靶芯设置在每个真空镀膜箱体中，阴极通过阴极法兰连接座以法兰连接形式安装在真空镀膜箱体壁上，气体、电源、冷却水连接管线置于真空镀膜箱体壁外，每组阴极之间有挡气隔离板将真空镀膜箱体壳体与冷却辊之间的空隙隔离形成抽气通道。