载台装置

摘要

本发明的目的为不需要支持载放工件的吸附板的石基台，对应工件的大型化、且确保载台的位置精度。载台装置(10)具有：固定在地面上的架台(12)；被支持在架台(12)上的一对导向部(14A、14B)；横架在一对导向部(14A、14B)之间，两端被支持在架台(12)上的多个梁(16)；Y载台(18)，沿一对导向部(14A、14B)在Y方向移动；以及一对线性马达(20A、20B)，沿Y方向驱动Y载台(18)的两端部。并且，在梁(16)上载放有载放平板状的工件的吸附板。在工件的面积被大型化而延长Y载台(18)的移动距离的场合，可通过延长导向部(14A、14B)来对应。

主权项

1、一种载台装置，其特征在于，具有：固定在地面上的架台；被支持在该架台上且平行配置的一对导向部；横架在该一对导向部之间，两端被支持在上述架台上的梁；被支持在上述梁上的工件载放板；载台，具有沿上述一对导向部的延伸方向移动的一对滑块、和横架在上述一对滑块之间的横架部，且在上述工件载放板的上方移动；驱动上述一对滑块的一对线性马达；计测上述载台的移动位置的一对线性标尺；以及控制部，控制上述一对线性马达，以使得由该一对线性标尺计测的移动位置相等。