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发明名称 ANIONIC ABRASIVE PARTICLES TREATED WITH POSITIVELY-CHARGED POLYELECTROLYTES FOR CMP
摘要
申请公布号 EP1483349(B1) 申请公布日期 2007.12.26
申请号 EP20030739720 申请日期 2003.02.10
申请人 CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION 发明人 CHERIAN, ISAAC, K.;CARTER, PHILLIP, W.;CHAMBERLAIN, JEFFREY, P.;MOEGGENBORG, KEVIN, J.;BOLDRIDGE, DAVID, W.
分类号 C09G1/16;B24B37/04;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304 主分类号 C09G1/16
代理机构 代理人
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