激光散斑相移检测头及其应用

摘要

本发明提供了一种激光散斑相移检测头，包括设于检测头机壳内的半导体激光器、光电转换器、光学镜头及剪切镜、扩束镜，半导体激光器和光电转换器固定于检测头机壳底座上；扩束镜设于半导体激光器前端，与半导体激光器位于同一光轴上，且扩束镜与半导体激光器连成一体；光电转换器、剪切镜、光学镜头连成一整体，且位于同一光轴上，光学镜头、剪切镜之间设有液晶相移器，剪切镜与光电转换器之间设有偏振片、传像镜头，光学镜头、液晶相移器、剪切镜、偏振片、传像镜头、光电转换器连成一体，且位于同一光轴上；半导体激光器、光电转换器两光轴之间的夹角为2°～20°。本检测头的检测结果比干涉条纹图对比度更明显，更利于缺陷判断。

主权项

1、一种激光散斑相移检测头，包括设于检测头机壳内的半导体激光器、光电转换器、光学镜头及剪切镜、扩束镜，半导体激光器和光电转换器固定于检测头机壳底座上；扩束镜设于半导体激光器前端，与半导体激光器位于同一光轴上，且扩束镜与半导体激光器连成一体；光电转换器、剪切镜、光学镜头连成一整体，且三者位于同一光轴上，其特征在于：所述光学镜头、剪切镜之间设有液晶相移器，剪切镜与光电转换器之间设有偏振片、传像镜头，所述光学镜头、液晶相移器、剪切镜、偏振片、传像镜头、光电转换器连成一体，且位于同一光轴上；所述半导体激光器、光电转换器两光轴之间的夹角为2～20°。