用于汽化器的液体原材料供应单元

摘要

液体原材料供应单元适于对汽化器供应液体原材料。该单元包括：集管，其内形成有流动通道；和多个流体控制阀，它们安装在集管上且包括：液体原材料控制阀；清洗溶液控制阀；吹扫气体控制阀；和第一引入控制阀，它可连接到汽化器上，用于控制从流动通道到汽化器的流体供应，吹扫气体控制阀、清洗溶液控制阀、液体原材料控制阀、和第一引入控制阀从集管的上游侧按此顺序安装在集管上。流动通道分别连接那些控制阀的阀口，这些阀口与相应控制阀的阀开口连通，而且流动通道构造成允许从吹扫气体控制阀供应来的吹扫气体直接在设置于吹扫气体控制阀下游的清洗溶液控制阀和液体原材料控制阀的阀口中流动。

主权项

1.一种用于汽化器的液体原材料供应单元，该液体原材料供应单元适于对用于汽化液体原材料的该汽化器供应液体原材料，该单元包括：集管，该集管在内部形成有流动通道；和多个流体控制阀，所述多个流体控制阀安装在所述集管上，其中所述多个流体控制阀包括：液体原材料控制阀，该液体原材料控制阀用于控制对所述流动通道供应液体原材料；清洗溶液控制阀，该清洗溶液控制阀用于控制对所述流动通道供应清洗溶液；吹扫气体控制阀，该吹扫气体控制阀用于控制对所述流动通道供应吹扫气体；和第一引入控制阀，该第一引入控制阀可连接到汽化器上，用于控制从所述流动通道到所述汽化器的流体供应，吹扫气体控制阀、清洗溶液控制阀、液体原材料控制阀、和第一引入控制阀从集管的上游侧按此顺序安装在集管上，其中所述流动通道分别连接到所述多个控制阀的阀口上，这些阀口与相应控制阀的阀开口连通，而且所述流动通道构造成允许从吹扫气体控制阀供应来的吹扫气体直接在设置于吹扫气体控制阀下游的所述清洗溶液控制阀和所述液体原材料控制阀的阀口中流动。