| 发明名称 | 使用线性马达的晶粒分离系统 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种用于从粘合表面移除晶粒的晶粒分离系统和方法。该系统包含有：一分离工具，其是相对于该晶粒有效移动，藉此将该晶粒推动；该分离工具可由套筒夹持器和分离销阵列组成。一轴杆用于支持该分离工具，并依序连接于一线性马达的转子。该转子可相对于该线性马达的定子移动；当该分离工具将晶粒推动后，一晶粒拾取装置从粘合表面移除该晶粒。 | ||
| 申请公布号 | CN100358100C | 申请公布日期 | 2007.12.26 |
| 申请号 | CN200510053935.7 | 申请日期 | 2005.03.14 |
| 申请人 | 先进科技新加坡有限公司 | 发明人 | 高内加·阿吉特;多森·盖瑞·彼得;欧钢 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/68(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京申翔知识产权代理有限公司 | 代理人 | 周春发 |
| 主权项 | 1、一种用于从粘合表面移除晶粒的晶粒分离系统，其包含有：一分离工具，其是相对于该晶粒有效移动，藉此将该晶粒推动；一轴杆，用于支持该分离工具；一线性马达，其包含有转子和定子，其中该转子与该轴杆相连接并可相对于该定子移动；以及一晶粒拾取装置，用于当该分离工具将晶粒推动后，从粘合表面移除该晶粒。 | ||
| 地址 | 新加坡2义顺7道 | ||