| 发明名称 | 可移动型平面度测量装置 | ||
| 摘要 | 在平面度测量装置中，具有平面度检测传感器的传感器单元沿直线导轨是可滑动的。支撑系统支撑直线导轨，使得直线导轨在水平面中是可旋转的，由此用具有平面度检测传感器的传感器单元完全扫描被测量的晶片工作台的表面，以便确保晶片工作台的整个表面的平面度测量。 | ||
| 申请公布号 | CN100357704C | 申请公布日期 | 2007.12.26 |
| 申请号 | CN200510116135.5 | 申请日期 | 2005.10.25 |
| 申请人 | 恩益禧电子股份有限公司 | 发明人 | 矢野克广 |
| 分类号 | G01B11/30(2006.01);G01B7/34(2006.01) | 主分类号 | G01B11/30(2006.01) |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 穆德骏;陆锦华 |
| 主权项 | 1.一种平面度测量装置，包括：直线导轨；包含平面度检测传感器的传感器单元，所述传感器单元沿所述直线导轨是可滑动的；以及支撑系统，其支撑所述直线导轨使得所述直线导轨在水平面中是可旋转的，由此用具有平面度检测传感器的所述传感器单元扫描被测量对象的表面，其中，所述支撑系统包括适于以适当的姿态相对于所述对象被定位的外环形凸缘；以及与所述外环形凸缘关联使其相对于所述外环形凸缘可旋转的内环形凸缘，所述直线导轨牢固地安装在所述内环形凸缘上。 | ||
| 地址 | 日本神奈川 | ||