| 发明名称 | 用于聚合物高分子材料表面改性的装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开的用于聚合物高分子材料表面改性的装置，包括绝缘材料制的反应室，反应室的顶部具有杯口朝向大气的石英玻璃介质杯体，紧贴杯底置有一板式上电极，反应室中设有与上电极平行的下电极，下电极固定在加热器上，上电极与等离子体激发脉冲电源相连，下电极接地，加热器与反应室外的加热温控装置相连，化学气相沉积的供气系统及真空系统分别通过阀门与反应室相连通，供气管的喷嘴位于两上、下平行的电极之间。该装置结简单，且操作控制方便，采用该装置在聚合物高分子材料表面涂覆DLC薄膜，对聚合物高分子材料表面改性膜基结合牢固，最大膜基结合力达到40N。 | ||
| 申请公布号 | CN200996047Y | 申请公布日期 | 2007.12.26 |
| 申请号 | CN200620140564.6 | 申请日期 | 2006.11.30 |
| 申请人 | 浙江大学 | 发明人 | 张溪文;李敏伟 |
| 分类号 | C23C16/513(2006.01);C23C16/27(2006.01) | 主分类号 | C23C16/513(2006.01) |
| 代理机构 | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人 | 韩介梅 |
| 主权项 | 1.用于聚合物高分子材料表面改性的装置，其特征是包括绝缘材料制的反应室(1)，反应室的顶部具有杯口朝向大气的石英玻璃介质杯体(5)，紧贴杯底置有一板式上电极(6)，反应室中设有与上电极平行的下电极(7)，下电极(7)固定在加热器(9)上，上电极(6)与等离子体激发脉冲电源(8)相连，下电极(7)接地，加热器与反应室外的加热温控装置(10)相连，化学气相沉积的供气系统(2)及真空系统(3)分别通过阀门与反应室相连通，供气管的喷嘴(4)位于两上下平行的电极之间。 | ||
| 地址 | 310027浙江省杭州市西湖区浙大路38号 | ||