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发明名称 METHOD OF FORMING DIELECTRIC FILMS
摘要
申请公布号 EP1340247(A4) 申请公布日期 2007.12.26
申请号 EP20010975332 申请日期 2001.09.19
申请人 MATTSON TECHNOLOGY INC. 发明人 LEVY, SAGY;BLOOM, ROBIN, S.;KEPTEN, DR., AVASHAI
分类号 H01L21/318;C23C16/02;C23C16/34;C23C16/40;C23C16/52;C23C16/56;H01L21/31;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/469;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/310 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
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