| 主权项 |
1.一种利用未知品质图样产生参考影像之方法,该 方法包含以下的步骤: a.撷取复数个该未知品质图样的影像; b.在一通用座标系统中校准所有该些影像; c.修正该些影像;以及 d.产生一参考模型影像,其中在该被产生的参考模 型影像中的每一像素系藉由选择该些影像中的相 同位置与相同符合的该最佳像素而构成。 2.如申请专利范围第1项所述利用未知品质图样产 生参考影像之方法,其中该图样为一未知品质晶粒 ,该表面为一晶圆,而该参考模型系用来检测一晶 圆上的晶粒。 3.如申请专利范围第1项所述利用未知品质图样产 生参考影像之方法,其中该些影像的修正包括几何 修正,其中可选择性地包括移动、旋转、放大、缩 小、局部变形或其他任何几何修正,以及藉由复数 个已知技术针对每一像素的灰阶之辐射修正。 4.如申请专利范围第1项所述利用未知品质图样产 生参考影像之方法,其中选择用以产生参考模型影 像之每一该像素包括下列的步骤: a.由该些影像的每一个收集在相同位置的该些符 合的像素; b.根据灰阶値分类该些被收集的像素;以及 c.由该分类分布内的最大像素丛集选择一像素。 5.如申请专利范围第4项所述利用未知品质图样产 生参考影像之方法,其中该丛集系被定义为一群像 素的数値,而该丛集的每一个成员之间的距离小于 一预先决定的数値。 6.如申请专利范围第4项所述利用未知品质图样产 生参考影像之方法,其中该被选择的像素为该最大 像素丛集的中间像素。 7.如申请专利范围第4项所述利用未知品质图样产 生参考影像之方法,更包括额外的计算,该些计算 对应每一像素而被储存,以便用于该检测演算法, 该些计算为: a.找出该最大丛集的中点; b.找到该丛集的最小(MIN)値并应用十字核心或3x3核 心或任何其他的Min-Max核心以找出被核心覆盖的像 素的灰阶的最小値(MIN);以及 c.找到该丛集的最大(MAX)値并应用十字核心或3x3核 心或任何其他的Min-Max核心以找出被核心覆盖的像 素的灰阶的最大値(MAX)。 8.如申请专利范围第1项所述利用未知品质图样产 生参考影像之方法,该方法在产生参考模型影像之 前更包括以下的步骤: 对该些影像的所有像素应用该些Min-Max核心的其中 之一。 9.如申请专利范围第8项所述利用未知品质图样产 生参考影像之方法,更包括额外的计算,该些计算 对应每一像素而被储存,以便用于该检测演算法, 该些计算为: a.找出该最大丛集的中点; b.找出该丛集的MIN値;以及 c.找出该丛集的MAX値。 10.一种利用未知品质图样产生参考影像之系统,该 系统包含: a.一撷取复数个该些图样的影像之取像装置; b.一使用专属演算法以修正与校准该些被撷取影 像之专属软体;以及 c.一控制器,可用以: c1.收集该些影像的每一个之相同位置与相同符合 的像素;根据预先决定的准则,选择该些被收集的 像素之其中之一; c2.根据该些被撷取影像之相同尺寸产生一新影像, 以及设置该被选择像素于对应该些原始影像的该 些被收集像素的位置之相同位置; c3.对该些被撷取影像的每一个像素重复上述定义 的该程序;以及 c4.提供该被产生的新影像作为检测该图样的一参 考模型。 11.如申请专利范围第10项所述利用未知品质图样 产生参考影像之系统,其中该控制器更可用以从根 据灰阶値分类的该些被收集的像素,选择来自该些 被收集像素的像素,以及由该分类分布内的最大像 素丛集选择一像素。 12.如申请专利范围第11项所述利用未知品质图样 产生参考影像之系统,其中该被选择的像素为该最 大像素丛集的中间像素。 13.如申请专利范围第11项所述利用未知品质图样 产生参考影像之系统,其中该丛集系被定义为一群 像素的数値,而该丛集的每一个成员之间的距离小 于一预先决定的数値。 14.如申请专利范围第11项所述利用未知品质图样 产生参考影像之系统,其中该控制器更可用于额外 的计算,该些计算对应每一像素而被储存,以便用 于该检测演算法,该些计算为: a.找出并储存该最大丛集的中点; b.找出并储存该丛集的最小(MIN)値;以及 c.找出并储存该丛集的最大(MAX)値。 图式简单说明: 第1图所示为根据本发明的方法之流程图; 第2图所示为选择像素的方法; 第3与第4图所示为十字核心与3x3核心,以及Min-Max操 作之范例; 第5A、5B图所示为由晶圆所取得之参考影像与根据 本发明的方法所「设计」之同一晶粒上的参考影 像,两者之间的差异。 |
