| 主权项 |
1.一种具多探针组感测系统,用以感测复数待测物 受致能之特性,包含: 一用以承载该等待测物之载台; 一用以撷取该等待测物个别位置及/或高度资料之 光学影像撷取装置; 一用以接收该光学影像撷取装置所撷取影像资料 并加以处理纪录之控制处理装置; 一用以致能各该待测物,使其作用之致能感测装置 ,包括 复数分别用以触接该等待测物中之一对应待测物 的探针组;及 一用以感测各该待测物受致能作用之感测器; 其中各该探针组中之至少一者,更具有一受该控制 处理装置驱动之压电位置调整件;及 一受该控制处理装置驱动而使该载台及该光学影 像撷取装置相对移动、并使该载台与该致能感测 装置相对移动之驱动装置。 2.依申请专利范围第1项所述具多探针组感测系统, 其中各该探针组系分别受该控制处理装置控制,以 供电予各该对应待测物之电极组。 3.依申请专利范围第2项所述具多探针组感测系统, 其中各该电极组分别具有两支分别电性连结至该 控制处理装置之探针电极。 4.依申请专利范围第2项所述具多探针组感测系统, 其中各该电极组分别具有一支分别电性连结至该 控制处理装置之探针电极,且该致能感测装置更包 括一铺设于该载台上之共同电极。 5.依申请专利范围第2项所述具多探针组感测系统, 其中该等待测物系发光元件,且该感测器系一光感 测器。 6.依申请专利范围第5项所述具多探针组感测系统, 其中该光感测器系一光电二极体。 7.依申请专利范围第1项所述具多探针组感测系统, 其中各该探针组系分别用以导接各该对应待测物 受致能之输出讯号至该控制处理装置之感测电极 组。 8.一种探针卡,系供用于一多探针组感测系统,并感 测复数待测物受致能之特性,该系统包含一用以承 载该等待测物之载台;一用以撷取该等待测物个别 位置及/或高度资料之光学影像撷取装置;一用以 接收该光学影像撷取装置所撷取影像资料并加以 处理纪录之控制处理装置;一用以量测该等待测物 受致能特性之感测装置;及一受该控制处理装置驱 动而使该载台及该光学影像撷取装置相对移动、 并使该载台与该探针卡相对移动之驱动装置,该探 针卡包括: 复数分别受该控制处理装置致能、并用以触接该 等待测物中之一对应待测物的探针组;其中,各该 探针组中之至少一者,更具有一受该控制处理装置 驱动之压电位置调整件。 9.一种检测方法,系用以感测复数待测物受致能后 作用,包含下列步骤: a)将复数待测物以一预定排列,置放于一载台上; b)撷取该等待测物之光学影像,分析各该待测物之 位置资料; c)依照各该待测物之位置资料,驱动该载台与一致 能感测装置相对移动,并驱动该致能感测装置的复 数探针组中之至少一具有压电位置调整件者,相对 于另一探针组微量位移,致使该另一探针组触及该 等待测物之一时,该探针组恰对应触及该等待测物 之另一;及 d)批次量测对应该等复数探针组之待测物。 10.依申请专利范围第9项所述检测方法,其中等待 测物系发光晶粒,且该步骤d)之该批次量测系循序 致能各探针组,并逐一读取各该晶粒是否发光达一 预定亮度。 图式简单说明: 图1是美国第5,720,098号发明专利探针卡之立体示意 图; 图2是*第M260860号新型专利检测机台立体示意 图; 图3是习用检测机台立体示意图; 图4是本案第一较佳实施例之电路方块图; 图5是本案探针卡第一较佳实施例之立体仰视示意 图; 图6是图5实施例之仰视示意图,说明各压电位置调 整件驱动探针电极之基台方向; 图7是本案检测方法较佳实施例之流程图; 图8是图5探针卡之检测过程立体示意图; 图9是本案第二较佳实施例之探针卡结构仰视示意 图;及 图10是本案第三较佳实施例之探针卡电路示意图 。 |
