发明名称 Method and Process for Reactive Gas Cleaning of Tool Parts
摘要
申请公布号 KR100786609(B1) 申请公布日期 2007.12.21
申请号 KR20060043494 申请日期 2006.05.15
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/205 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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