发明名称 ELECTRODE ARRANGEMENT
摘要 <p>Offenbart wird eine Elektrodenanordnung (1) als Hochspannungselektrode für die kontinuierliche Plasmabehandlung oder Plasmabeschichtung von Bahnmaterial mit einer Mehrzahl von quer zu einer Transportrichtung des Bahnmaterials angeordneten, im wesentlichen parallel zueinander stehenden Messerelektroden (3) , die sich dadurch auszeichnet, dass die die Abstände (a-e) benachbarter Messerelektroden (3) unterschiedlich sind. In Versuchen hat sich herausgestellt, dass sich mit einer solchen Elektrodenanordnung ein gleichmäßigeres Beschichtungs- bzw. Behandlungsergebnis erzielen lässt als mit vergleichbaren Anordnungen, in denen die Messerelektroden äquidistant angeordnet sind. Bevorzugt sind die Abstände (a) benachbarter Messerelektroden (3) am Rand der Elektrodenanordnung (1) größer als die Abstände (e) benachbarter Messerelektroden (3) in deren Zentrum.</p>
申请公布号 WO2007144075(A1) 申请公布日期 2007.12.21
申请号 WO2007EP04851 申请日期 2007.06.01
申请人 SOFTAL ELECTRONIC ERIK BLUMENFELD GMBH & CO.;PRINZ, ECKHARD;PALM, PETER;FOERSTER, FRANK 发明人 PRINZ, ECKHARD;PALM, PETER;FOERSTER, FRANK
分类号 H01T19/00 主分类号 H01T19/00
代理机构 代理人
主权项
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